WAT6300 WAT 串行高压参数测试系统
主要特点 :
支持Si/GaN/SiC晶圆的WAT测试 最多支持24Pin, 可灵活配置Pin数 基于商用或联讯自研SMU 板卡
电流测量精度<1pA, 分辨率1fA,低压最大范围1A, 高压最大范围120mA
电压测量精度<50μV, 分辨率100nV, 最大范围3500V
电容测试频率1kHz到 1MHz,100fF 到100nF测量范围
整机低压端漏电流小于 1pA,高压Chunk 漏电小于100pA
支持所有主流Prober(TELP8XL/P12/P12XL/Precio XL,TSKUF200/UF3000/UF3000EX等)
适配是德4070/4080机台所用的探针卡
完全兼容4070/4080测试程序和Algo算法 现代且高效的ptSemight 软件环境
▶软件支持SECS/GEM, 可接入客户EAP
▶用户测试日志可自定义 集成CAL/DIAG/PV软件
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